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Metadados

1. Identificação
Tipo de ReferênciaArtigo em Evento (Conference Proceedings)
Sitemtc-m21b.sid.inpe.br
Código do Detentorisadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S
Identificador8JMKD3MGP3W34P/3HT4GSP
Repositóriosid.inpe.br/mtc-m21b/2015/02.06.12.26
Última Atualização2015:02.06.12.26.54 (UTC) simone
Repositório de Metadadossid.inpe.br/mtc-m21b/2015/02.06.12.26.16
Última Atualização dos Metadados2021:03.04.02.46.12 (UTC) administrator
Chave SecundáriaINPE--PRE/
Chave de CitaçãoGomesUedaBernNono:1998:ViSpPl
TítuloVisible spectra from plasmas applied to the plasma immersion ion implantation
Ano1998
Data de Acesso21 maio 2024
Tipo SecundárioPRE CN
Número de Arquivos1
Tamanho534 KiB
2. Contextualização
Autor1 Gomes, G. F.
2 Ueda, Mário
3 Berni, Luiz Angelo
4 Nono, Maria do Carmo de Andrade
Grupo1 LAP
2 LAP
3 LAS
4 LAS
Afiliação1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
Endereço de e-Mail do Autor1
2 ueda@plasma.inpe.br
3 berni@las.inpe.br
4 maria@las.inpe.br
Nome do EventoEncontro Brasileiro de Física dos Plasmas, 5.
Localização do EventoÁguas de Lindóia, SP
Data30 nov. - 04 dez.
Páginas5-8
Título do LivroProceedings
Histórico (UTC)2015-02-06 12:27:33 :: simone -> administrator :: 1998
2021-03-04 02:46:12 :: administrator -> simone :: 1998
3. Conteúdo e estrutura
É a matriz ou uma cópia?é a matriz
Estágio do Conteúdoconcluido
Transferível1
Tipo do ConteúdoExternal Contribution
Tipo de Versãopublisher
ResumoEmission spectroscopy was applied in order to identify and characterize dominant species and impurities in plasmas generated via microwave or glow discharges for plasma immersion ion implantation. From the spectra so obtained, several sources of impurities were identified and eliminated. These plasmas, used for plasma immerion ion implantation applications, are in a suitable degree of purity for that purpose. In this paper, we present the results of these spectroscopy measurements, very important for our plasma immersion ion implantation processing of materials.
ÁreaFISPLASMA
Arranjo 1urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Visible spectra from...
Arranjo 2urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Visible spectra from...
Conteúdo da Pasta docacessar
Conteúdo da Pasta sourcenão têm arquivos
Conteúdo da Pasta agreement
agreement.html 06/02/2015 10:26 1.0 KiB 
4. Condições de acesso e uso
URL dos dadoshttp://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3HT4GSP
URL dos dados zipadoshttp://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34P/3HT4GSP
Idiomaen
Arquivo Alvovisible spectra.pdf
Grupo de Usuáriossimone
Grupo de Leitoresadministrator
simone
Visibilidadeshown
Permissão de Leituraallow from all
Permissão de Atualizaçãonão transferida
5. Fontes relacionadas
Repositório Espelhosid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.22
Unidades Imediatamente Superiores8JMKD3MGPCW/3ESR3H2
8JMKD3MGPCW/3ET2RFS
Acervo Hospedeirosid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20
6. Notas
Campos Vaziosarchivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor format isbn issn keywords label lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid organization parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype type url volume
7. Controle da descrição
e-Mail (login)simone
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